MAGNETRON SPUTTERING

I corsi sono tenuti presso la sede del Cliente.

 

Introduzione alla deposizione per Magnetron Sputtering
(2 ore + 1 ora per domande e approfondimenti)

Principi di funzionamento delle sorgenti magnetron sputtering
Architetture tipiche di macchinari magnetron sputtering
Deposizione di strati metallici (processi non reattivi)
Deposizioni di strati non metallici (processi reattivi)

TECNOLOGIA DEL VUOTO

I corsi sono tenuti presso la sede del Cliente.

 

Introduzione alla Tecnologia del Vuoto
(2 ore + 1 ora per domande e approfondimenti)

Sistemi di pompaggio: pompe primarie, a diffusione, turbomolecolari, criogeniche
Misura della pressione: vacuometri Pirani, Penning, Bayard-Alpert, capacitivi
Dispositivi per l’iniezione controllata di gas di processo

ARCO CATODICO

I corsi sono tenuti presso la sede del Cliente

 

Introduzione alla deposizione per Arco Catodico
(2 ore + 1 ora per domande e approfondimenti)

Principi di funzionamento delle sorgenti ad arco catodico
Architetture tipiche di macchinari ad arco catodico
Deposizione di strati metallici (processi non reattivi)
Deposizioni di strati non metallici (processi reattivi)